Het is het waardevolste techbedrijf van Europa en de belangrijkste multinational van Nederland. Zonder ASML …
Omdat de kleinste afwijking is terug te zien op de wafer zijn de spiegels opgetrokken uit materiaal dat vrijwel ongevoelig is voor tem peratuurwisselingen. Zeiss grijpt daarvoor terug op kennis van zijn voormalige ruimtevaartdivisie. Satellieten en chipmachines lijken misschien weinig op elkaar, ze moeten wel allebei onder extreme om standigheden hun werk doen. Het oppervlak wordt maandenlang gepolijst door robots; daarna schiet Zeiss de laatste atomen er stuk voor stuk af. Dan worden er meer dan vijftig flinterdunne reflecterende laagjes op aangebracht en is de spiegel gereed. 'Richt er een laserstraal op en je kunt een golfballetje op de maan raken,' zegt Thomas Stammler. Een andere vergelijking: als je de spiegel uit een High NA-systeem kon uitrekken tot het formaat van heel Duitsland dan steekt de grootste oneffenheid er hooguit 20 micrometer bovenuit. Minder dan de dikte van een haar.